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湾芯展国产半导体设备新品集中亮相 中微公司、华海清科、微导纳米发力高端化
湾芯展批量新品集中亮相 国产半导体设备发力高端化
AI 导读
今年湾芯展上，一批国产半导体设备、材料、工具等新品集中亮相，国产设备正持续向高端领域突破。
摘要与补充说明
中微公司推介了最新发布的两款高端半导体微观加工设备。华海清科发布中束流离子注入机产品，向着关键设备国产化持续攻坚。微导纳米推出全新的iMagtron系列磁控溅射系统（PVD）及Ru超薄膜工艺专用ALD设备，实现了ALD、CVD、PVD三大主流薄膜沉积技术路线全体系覆盖。
此来源暂仅展示摘要。